看你的电路，是打算用探针的反馈直接输到z轴的控制上自动接近吗？要不试试把z轴做成手调的或者dac控制的看看能不能有稳定的隧道电流？
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试制一台【不成功的】扫描探针显微镜
从未想到这也能DIY，于是乎也想仿制一台，结果不太成功。。。
结构如上图。现在只为调出隧道电流，因此底座是3D打印的。样品装载于光学平台上，用一片导电胶带做接触。
PCB兼做压电陶瓷片（蜂鸣片）的载体。是未完工的状态。
电路图。一级跨阻放大器将隧道电流转为电压，传入误差放大器后，给一级积分器+反相调整，压电陶瓷Z轴高度。现在电路没有太大问题，各个单元工作正常，也基本无自激现象。
探针是假的。是一只to-92三极管的引脚，毕竟调试时用蚀刻好的钨针或者Pt-Ir，一碰，那就亏大了。探针夹具是一只SMB或者MCX接头，拆机的不太清楚。
问题出在Z轴的光学平台上。根据前人的经验，±15V条件下的压电陶瓷动态范围约为3μm左右（XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX/web/20071214032634/XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX/spm_stm/Mechanical_XXXXXXXXXXXml，这位是蜂鸣器扫描的发明者？），而这个光学平台的调整用的是常规的微分头，最小刻度为10μm。现在调试中也有这问题，不是碰针就是没有隧道电流。。。偶尔能听见反馈电路动态调整时的吱吱声，而由于整套系统不避震，便一松手就没了。
电路图。是全国产化的，因为便宜。
KiCad设计文件。全是内置库，应该不缺什么。
最近比较忙，可能又要搁置很久了。
PCB工作的时候会发热膨胀，不适合作为载体吧。
另外有X方向和Y方向的控制吗，看原设计把蜂鸣片划成四个象限，不知道是怎么切割的
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PCB工作的时候会发热膨胀，不适合作为载体吧。另外有X方向和Y方向的控制吗，看原设计把蜂鸣片划成四个...
原文用的是美工刀，貌似就是把银层挂掉。PCB热膨胀确实有影响，但本来就是低质量DIY，暂时凑合着。
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看你的电路，是打算用探针的反馈直接输到z轴的控制上自动接近吗？要不试试把z轴做成手调的或者dac控制...
确实可以，但现在主要是机械问题，积分器自动控制是好的。计划工作在恒流模式，也需要自动控制。
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楼主断开R2 和R10，测量检测隧穿电流的I-V变换器的输出 TP1，同时改变Z轴的旋钮。能否在TP1处检测到电压变化？把电压变化折算为输入电流的话，输入电流和z轴刻度的关系是不是合理有效的呀？
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楼主断开R2 和R10，测量检测隧穿电流的I-V变换器的输出 TP1，同时改变Z轴的旋钮。能否在TP...
或者把光学台的Z轴调节到没有撞针的较接近被测试样的位置，给压电陶瓷分别加上-15~+15的直流电压V2，在TP1端能不能获得与V2相关的电压。
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或者把光学台的Z轴调节到没有撞针的较接近被测试样的位置，给压电陶瓷分别加上-15~+15的直流电压V...
现在设计很大的问题：就是即使调的足够近，也仍然不足够。您说的方法我试过了，拿信号发生器对压电陶瓷注入信号，的确能在TP1中看出隐约的变化。但是IV放大器过于敏感，甚至靠近探针就已经有响应了。（这样或许也侧面印证了IV放大器正常工作？）
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大致想好怎么进行改进了：参照前人的方法，在最左侧布置两颗粗调螺丝，并在该螺丝右1mm处放置压电陶瓷片中心。微调节放在距离粗调螺丝较远处的地方，用一只微分头。假设该距离是100mm，若微分头拧了一圈，下降500μm，那么压电陶瓷处应当下降大约5μm——就像一只独轮推车一样。
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按理隧穿至少要纳米级别的靠近（我疑惑此时是否有空气击穿电离的问题）
我觉得调得差不多后（比如刚刚碰针后）
需要通过Z-ctrl（暂时接个电位器提供可调的偏压 之后可以考虑用单片机控制）个来微调（后退一点） 才容易得到够近的距离
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按理隧穿至少要纳米级别的靠近（我疑惑此时是否有空气击穿电离的问题）我觉得调得差不多后（比如刚刚碰针后...
楼主这种配置。。。别说击穿空气了。。。应该是刚戳穿氧化膜，在做矿石收音机呢。。
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按理隧穿至少要纳米级别的靠近（我疑惑此时是否有空气击穿电离的问题）我觉得调得差不多后（比如刚刚碰针后...
碰针了，调电位器时手一抖，就戳穿样品咯。
pcb软乎乎的，实在是不妙。
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引用GiroPetrenko发表于11楼的内容碰针了，调电位器时手一抖，就戳穿样品咯。pcb软乎乎的，实在是不妙。
多圈电位器 或者使用粗调细调两个电位器
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PCB工作的时候会发热膨胀，不适合作为载体吧。另外有X方向和Y方向的控制吗，看原设计把蜂鸣片划成四个...
新的小发现：试用了两者压电陶瓷片，一种tb杂牌的可以被小刀轻易割开，而另外一种murata的只能留下划痕，得用钨钢铣刀才能割开。
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引用GiroPetrenko发表于13楼的内容新的小发现：试用了两者压电陶瓷片，一种tb杂牌的可以被小刀轻易割开，而另外一种murata的只能留下...
用漆当掩膜然后用酸蚀刻也行吧
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