感谢介绍，恰好在某涉及CVD设备的项目中在考虑加装这种低真空RGA。目前的土办法是在腔里点一个大功率Argon plasma，然后看发射光谱。

一步到位？

可以看到channeltron

这么小的四级杆一般效率低，装电子倍增补偿一下才能用，楼主拆的居然是直接法拉第杯的，比较的猛。。

文中尺寸的四极杆配合无增益的FC尚且具有E-5A/Torr@Ar的灵敏度，仅比常见尺寸的RGA低了一个数量级。HPQx系列应用于高压力的特殊工况，在E-2～E-6Torr的压力范围内总离子流会在E-7～E-11Amps的水平，完全不需要倍增器来放大信号

另外，RGA的cem通常在E-7A时饱和，在这个压力水平开启cem几乎没有增益的空间，即使加上偏压也会显著消耗cem的寿命。。。 XPR3 FC下的灵敏度过低仅E-7A/Torr因此附加了一个MCP把sensitivity拉到了E-3A/Torr，HPQ3是完全没有这个必要的

这种没有differential系统的RGA不同于带有进样系统的质谱仪，total pressure产生的信号强度相当高，所以并不是任何情况都要加一个倍增器才有好效果。。

常见的RGA产品里，830/835VQM使用了单cem collector，这导致VQM要完全放弃高压力下的质量分析，仅在E-5Torr以下才能正常工作

835挺耐用的高压区，倍增也没那么短命，它的分辨率高不需要很好的灵敏度就能完成测量，有没有倍增其实影响不大。说起来我好几次忘关 5mbar左右灯丝烤几个小时，啥事没有。

现在流行芯片级四级杆了，可以像素化，mems做硅结构，嵌入钨钢杆。过阵子有空我发个详细拆机图。

看了徐版的回复，我想有些问题需要做测试。。

首先VQM超压会自动关闭灯丝，阈值在5E-4Torr。之前测试时关了SIP，Prisma还在工作，VQM会立刻停掉灯丝供电并进行overpressure报错，即使在不与PC通讯、不连接外源真空规、断开总压模拟输入时过压保护也存在

这里5E-5～5E-4Torr被认为是没有理由开启VQM的压力范围，VQM只有倍增器一种检测器，所以此时一些高分压气体产生的峰会将倍增器饱和以至于无法得出可用的数据，因此VQM并不兼容高压力使用

而＞5E-4Torr的压力被认为是“extreme over pressure”，即可能损坏灯丝、倍增器，造成电极结构产生电弧的状态，在此压力下运行VQM会自动停机并报错，因此VQM无法在超压状态保持点亮灯丝正常工作的状态

另外，VQM设置倍增器目的是增加灵敏度测量微弱离子流信号，从而将工作压力范围扩展到XHV。而灵敏度的高低与分辨本领并无关系，并不存在因为分辨率高就可以舍弃灵敏度的说法

Prisma在中段质量的分辨率也一样很高，以44amu@CO₂⁺为例，Prisma的峰宽恒定为0.5amu，830VQM实测为0.4amu（R=130），但这并不影响在压力低于1E-7Torr时基于法拉第杯的Prisma无法正常工作

CEM的寿命有限不是说被强离子流饱和一次就会出现什么明显的折寿现象。以RGA常用的通道倍增器为例，一般在1～3KV的偏压范围内提供10～1E+6的增益，而长期在高压力下给倍增器加偏压会快速的污染和消耗其活性表面减弱其增益能力

调谐过程中，软件会自动做calibration并拉高EM偏压以维持原增益水平，因此短期内并不会看到倍增器性能的变化，直到偏压加到2500V以上仍然无法恢复原增益时倍增器报废。。

这种情况并不罕见，像一些上一代的transpector经常出现加到2.8KV仍然无法恢复原增益水平的情况

而新的CEM通常在1KV的偏压下即可提供1000倍放大增益

当压力迅速到几mbar时，会产生毫无信号的状态，vqm是不会自动保护的。。。我们也用不到倍增器坏的那一天，这玩意太脆弱而且距离管径很近，都是同学拆装的时候怼坏的，还好维修很良心。。。坏了有三四次了。

ion trap跟四级杆比，离子个数少不少，实际上要损失许多的througput，因为这问题我们又换成四级杆了。但是好在噪音是“功率谱”，按照每amu分下去的，分辨率一高，检测极限就低了。

你居然买到了原装的线，835和830的线经常坏，贵得很。。。

用四极杆时有遇到过噪声的问题，有时堆积成一个平台确实很影响检测限。。 但如果是做残余气体分析这种不怎么要求快扫描的，可以通过降低扫描速度解决问题，在0.5-1s/amu的扫描速度下噪声会很快被压下去

用四极杆时有遇到过噪声的问题，有时堆积成一个平台确实很影响检测限。。 但如果是做残余气体分析这种不怎么要求快扫描的，可以通过降低扫描速度解决问题，在0.5-1s/amu的扫描速度下噪声会很快被压下去

嗯这个噪声明显的时候已经慢了，835vqm可以快速的扫很宽，然而我们不开电离源，离子是别的地方飘进去的，这时候个数有限，四级杆优势就体现了。

还有一种搞法比较简洁，就是用汤姆逊抛物线质朴，加一个alpha闪烁屏，用相机看

您好，因为我没有HPQ探杆实物，请问，图中的尺寸是多少(红色标注)？我用于RF电压上限分析。