HPQ3高压残余气体分析仪拆解

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~~空空如也

qiuzheru1

1年3个月前 IP:瑞士

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发表于《HPQ3高压残余气体分析仪拆解》

感谢介绍，恰好在某涉及CVD设备的项目中在考虑加装这种低真空RGA。目前的土办法是在腔里点一个大功率Argon plasma，然后看发射光谱。

文号 / 925332

qiuzheru1

百炼成钢

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