在科学研究和工业生产中，经常需要用到高真空环境。例如，用于模拟卫星在宇宙空间的运行环境的热真空实验舱，就需要10E-5Pa以下的低气压，这是一种高真空。在高真空中，可以把气体视为孤立的分子，并不像常压下那样能够迅速的从高压扩散到低压。通俗的讲，实验舱如果有任何一点泄漏，气压都不能抽到规定标准。

假如真空度无法达标，如何检测泄漏的位置呢？泄漏往往很小，绝不可能听到“嗤嗤”的声音的。为了解决这个问题，人们发明了质谱检漏法。

把一台质谱仪接在真空舱上，让质谱仪抽真空，真空舱内所有的气体和分子流，都会通过质谱仪排走。在真空舱的外面喷洒一点氦气，如果有漏孔的话，氦气会被抽进真空舱，然后进入质谱仪，质谱仪可以做到极高的灵敏度，因此只需要很少的氦气。

有关氦质谱检漏的知识，可以参考下面论文：

氦质谱检漏仪检测原理及应用-何己有.pdf 232.01KB PDF 345次下载 预览

这台检漏仪是PFEIFFER公司在本世纪初生产的（这类仪器的生命周期很长，同一型号可以连续生产二十年以上而不用换代），大概来说是近代技术。由于属于在用设备，暂时也不需要大修，所以只能外围参观一下。

这是外观，下方的接头用于连接被测真空舱。

拆开盖子

右侧两个长得像步进电机的东西，其实是阀门的驱动器，它们连接的方形铝块，是分子泵。泵的电机在铝块下面。这是一种集成气路。

这是一个真空规

这应该是偏转磁场发生器

右下罐子是离子检测器

这是前级泵

盖子的锁紧装置

底座下面。左侧白色圆形是分子泵的底部。

参考：

质谱仪的拆解

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剧终。