额..新版不会上传图片Orz
今年科技节的制作打算是台小的质谱仪，需要一个真空环境，很纯的小白..
我用的是玻璃扩散泵，要得到一个在10^-5pa量级的真空，我打算这样做：

旋片泵----阀门1----扩散泵----电阻规1----阀门2----电阻规2+电离规----真空室

第一次使用的时候（这时候扩散泵和真空室里面的气压都还是常压），把阀门1和阀门2一起打开，用旋片泵抽气，当电阻规1或2测得气压在10pa以下之后就打开给扩散泵加热的电炉，开始用扩散泵抽真空，然后电离规测得气压在10^-5pa左右的时候质谱就开始工作了；使用完之后，关闭阀门2以及阀门1.然后关掉旋片泵，真空室和扩散泵内始终保持着真空。以后每次使用的时候，都先打开阀门1，用旋片泵抽气，然后电阻规测得气压小于10pa时再开启扩散泵电炉的电源并打开阀门2，待电离规测得气压满足条件之后质谱开始工作。
那请问像上面那样的工作流程可不可行呢？有哪些地方需要更改？
PS：关于泵的几个使用上的不解..：①扩散泵的冷却水套中的水温应控制在什么范围内？②网上有文档说“不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3pa的压力，因为当压力低于13.3pa时会引起机械泵油蒸汽分子反流到真空室而造成污染。”？机械泵2x-1不是说可以抽到0.67Pa么？③网上说扩散泵应在气压小于10pa时才启动，请问这个10pa值的是扩散泵排气口处的气压还是进气口？抑或是没区别呢？

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