请教关于等离子去胶机的问题

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请教关于等离子去胶机的问题

中电感应2011/01/23高电压技术 IP:浙江

请问各位高手，大家有修过半导体生产用等离子去胶机啊。我们公司的那台IPC2000，现在自动调节部分不是很好，时不时功率只有一半，调不上去啊，不知道他的反馈原理是怎么样的。他是通过两个电机来调节耦合电容的，现在经常耦合电容不动，检查过机械问题，电机传动机构正常，电路原因。

来自：电气工程 / 高电压技术

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