说个题外话，海洋光学USB4000用的TCD1304传感器噪声温度系数相当大
因此一直很想找个办法给它加一点制冷。可惜看之前论坛里有人发的拆解图，结构还是比较紧凑的，没什么好办法。
所以干脆从冰箱拿出几坨冻三文鱼贴在铝壳上，降低噪声效果显著。。。
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Verity Instrument SD1024G光谱仪简单拆解与测试
最近想买一个覆盖可见光范围的光谱仪，在ebay上淘了一个USB4000。继续逛ebay的时候偶然间发现有人卖Verity Instrument的光谱仪，感觉莫名眼熟。近来因研究需求，经常在某微纳加工中心做样品。查了查发现这个系列的光谱仪就是该中心的几台SPTS与TEL公司的反应离子刻蚀(RIE)设备所安装的终点检测(OES EPD)探头。看到某韩国佬卖的SD1024G还送光纤，就立即下单了。说是没测试过，但是大家都知道这种设备经常开机十多年除非事故基本不关，某设备检修手册上对这部分的maintenance也极为简单，对可靠性还是比较有信心的。
24V通过一个DB9插座供电，67脚+89脚-。通过LAN或者RNDIS通讯。Verity型号不带L的仪器输入光纤都是这种定制的光纤束连接器，带L型号的是标准的SMA905。
狭缝
接头与SMA对比
光纤束是圆形光斑转线形的，一端贴合狭缝形状，另一端组合成一个较大的有效孔径。
随手拍摄几张内部图
探测器是TEC制冷CCD，Hamamatsu的定制型号，QE曲线和S7031相近，128x1024 面阵当线阵用。这个设备的缺点也很显著，前面板上两个风扇，还有一个用来冷却TEC制冷CCD，工作时噪声就像隔壁在用吸尘器。。。
因种种原因很想把固件dump下来，看ebay上老型号（F系列）数字板，处理器是x86，跑OnTime RTOS，从CF卡引导，拔下卡应该就可以读出。现代型号换成了这个blackfin和SPI Flash，可惜破lab连个杜邦线都没有，只好作罢。从PM2 EPD的标签看，前世估计是在某个cluster tool上。
ADC是个AD7612
光学组件在这个方形铝盒子内，就不拆了。
用于锁紧光纤接头的六角螺柱
某在用设备中的同款，另配FL2100闪光氙灯，可用白光干涉(IEP)或OES两种方法做终点检测
这公司符合半导体行业厂商的一贯作风，别想找到任何详细的公开资料，网上找了一圈也只有几个标着Confidential的datasheet。配套的SpectraView软件当然也无法找到，只好尝试特殊手段。软件带OEM水印，安装过程锁定磁盘序列号，Applied Materials和TEL的还是不通用的定制型号，麻烦得很，对只想拿来做其他用途的爱好者极不友好。如果有其他人需要软件，请留言，可以视情况提供一定帮助。
克服困难之后，终于看到了光谱
不幸CCD有一个white spot
由于刻蚀过程中的等离子体发光往往不强，虽然激励功率巨大，但是反应腔体积也大，亮度(Radiance)可能很小，而此类设备往往需要有较好的探测实时性。所以这类设备都是按尽可能大的孔径/throughput/etendue和尽可能灵敏的探测设计的。而作为一个光栅光谱仪，如果不希望分辨率严重劣化，需要一个不宽的入射狭缝。为达到1.33 nm nominal 的分辨率，印象中按海洋光学那种设计，需要大概10 um还是25 um的狭缝，这个设备的光学部分体积也只有这么点大，焦距应该量级上是对的。这也是为什么使用光纤束作为输入，这样可以在维持一定的狭缝宽的条件下，增加光纤的有效孔径，增大etendue。
为什么这个throughput很重要呢，先举个例子: Ocean Optics USB4000 (25um slit)的throughput/etendue比Yokogawa的AQ6373显著更大，比例不好估计，目前认为至少100倍。导致的结果是Yokogawa AQ6373这种OSA基本上只有对像激光一样亮的东西才能得到可观的SNR，用这个就算设置成large core fiber, 2 nm resolution, HIGH3 sensitivity也不容易测到屏幕发光这个量级的亮度的谱线。
注意这个指标和灵敏度或者动态范围并不直接相关，如果有一束M^2不大的激光，同样功率同样grating efficiency同样探测器噪声，SNR应该基本相当。而USB4000用的辣鸡CCD没有可变增益实现的高动态范围，常温下暗电流也高得可怕，用来测激光显然没有Yokogawa OSA好用。这里重要的不是功率，而是一个类似耦合效率的因素。
这里有些不错的讨论
XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX/article/high-resolution-spectroscopy/
这个Verity的光谱仪有着巨大的throughput/etendue，与USB4000做了一些简单的对比，在一个房间里唯一的光源是近10米外的一个灯，把SD1024G和配25um slit的Ocean Optics USB4000的光纤对着白色的墙（作为散射体），两张图分别是接受到的光谱。
SD1024G只用30 ms积分时间10次平均，0.3s就能毫不费力的看出远处的这个灯是个CFL荧光灯
USB4000截图搞错了，放了一次平均的，但是100ms积分时间，10次平均也还是除了CCD 的坏点之外什么都看不到。
用疫情期间的西方家庭中最常见的可燃物之一乙醇+IPA点了一小团火，同时将USB4000和SD1024G的光纤并列摆放，对着这团火，均设置300 ms积分10次平均
SD1024G，未扣暗电流，未尝试做Fixed-pattern noise校正，OH, CH, C2(Swan band), Na, K各条发射线加一点黑体辐射背景极为清晰
USB4000, 只有偶尔能以很低的SNR看见Na, K的发射线
这款光谱仪还有一个Fast AD模式，可以有500 Hz的采集速率工作，某LED 50Hz闪烁清晰可见
[修改于 2年7个月前 - 2022/04/10 05:03:24]
请问楼主，光谱仪如何进行幅度校准？
波长校准可以用放电灯。总功率可以用光功率计校准。
问题是怎么校准每个波长的相对灵敏度呢？用已知光谱的光源？除了氘灯、卤钨灯，还有什么更好的选择呢？
海洋光学内置氘灯、卤钨灯的校准源，不确定度有7.5%，我感觉用于色彩校正会不够准确。
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可能可以用n个激光器和光功率计
可以去Thorlabs看下功率计的指标，其实不确定度也就在+-3%到+-7%。7%是0.3dB，其实在很多领域来说已经足够精确了，我们正在写的某manuscript里得数据能+-0.7dB已经谢天谢地了。AQ6373的指标Level accuracy ±1.0 dB。另外用这种CCD线阵探测的而非扫描式的光谱仪看激光，除了分辨率太低没什么用之外还有一个问题，因为激光相干性好，在各个像素上会有类似speckle的现象，测得的峰形状不稳定。
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这个光纤入口设计如此豪华，简直超过了qe pro，达到了Shamrock之类成像光谱仪的水平，不像qe pro那么简单粗暴的换个传感器了事。
楼主可以试试能不能软件上取消128纵向binning读出，读个2d出来，对好焦就是一个推扫高光谱了。
usb4000每次用之前都要校准，很多年前找牙刷消毒灯厂定制了一批用氩气起弧的微型汞灯，可惜比例不是很好，氩气谱线在汞烧热以后暗得几乎看不见，只有开灯瞬间几秒能够用在uv-nir全段，ocean optics配的塑料壳校准灯也是一样的差，导致每次校准usb4000都费很多事，整个带光路冷冻还是比较坑的。。不如直接重做算了
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用一个错误操作来演示一下AQ6373的极低throughput。电筒标称1500lm, 20W，
Verity这个13ms积分，散射光就能饱和
比一下，但是其实并不知道到底哪个响应更平。。。
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这个光纤入口设计如此豪华，简直超过了qe pro，达到了Shamrock之类成像光谱仪的水平，不像q...
用个汞灯试了下，看上去USB4000光机部分温度稳定性确实不行。不如重买。
橙线Board temp 29.4 degC, 蓝线 4.4 degC
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如果不需要SpectraView软件的全部功能，只想看个光谱的话，Verity老款的SD1024D/F有一个内嵌的基于java的网页界面。虽然现在网页嵌入java早已被现代浏览器淘汰，但是这个applet不仅可以独立运行，还是分析协议的很好的突破口。
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对于D/F系列的接口线序，我没有这代产品，所以没法直接帮上忙。建议通过找USB或者网口的相关器件，查找它们的pinout来判断。比如图中看上去有一个Pulse H1081 网络变压器，万用表量对应的引脚连接应该能找出Ethernet TX+-/RX+- .
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从上图可以出这个温度对其带宽，能量都存在影响，既然汞灯的发出能量不稳定，对带宽的标定有影响吗
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这篇文章后面的回复，逐渐演变成了大型求资源现场，基本都是注册新号上来求软件，求资料的。求完以后也不表示感谢，纯粹伸手党。同时可以看出许多人并不是爱好者，而是给自己货场里的机器配上软件好拿去卖钱的垃圾佬。这些人需要知道，信息的传播是有价的，就算是中学老师也是领了工资才解答学生的疑问。
为了避免骚扰，对于新号伸手，一律做删除处理。
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楼主您好。我也买到一台老款的SD1024D希望使用。我看到您说这一款可以使用内嵌网页应用，但是我的两台电脑（Mac的Win10虚拟机，winXP）均无法成功下载驱动打开应用。另外，我咨询了Verity的工程师，回复是"The embedded software is only used for processing data within the spectrometer (convert pixels to wavelength, etc.), it is not the applications software"，所以这个网页版可能不适用于我的机器，或者过于简单，并没有一些必要功能。因此，还是希望可以用spectraview软件再尝试一下。
作为资源共享，我分享一些我拆解的图片。希望楼主应许，谢谢！
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楼主您好。我也买到一台老款的SD1024D希望使用。我看到您说这一款可以使用内嵌网页应用，但是我的两...
抱歉，最近听说几例比较可怕的事情，也有一次因版权问题差点惹上麻烦，现在不敢向他人提供SpectraView软件了。请您在网上寻找，或者问各个咸鱼卖家 (尤其是X系列，可能能让搞个镜像，再想办法解决后续) 有没有愿意提供的。另外，您能让verity的支持愿意回复您，我有点吃惊。
另一方面关于那个内嵌的网页应用，可以打开您说的那个无法使用的页面，浏览器里F12查看源码，找到对应的jar，下载到本地。安装java后（确定java在路径里），可以用如下的命令行在本地运行。如果光谱仪是DHCP的，需要网上下载安装一个DHCP服务器小程序。
java -classpath verityapplet.jar -DInHTMLIPAddr="光.谱.仪.的IP" -DWidth="1000" -DHeight="600" -DTab="1" tabpanel.tabbedApplet
当然，这个界面没有显示光谱之外的任何功能。如果觉得这个界面太难用，你也可以用jadx之类的工具反编译这个jar，其实通讯协议非常简单，不难写出一个自己的小程序来。
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