层流质量流量计如何选型
小德喵喵 2021-6-28原创 仪器仪表
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流量计选型

这篇文章主要给大家介绍一下层流质量流量计如何选型,这里要注意我们说的质量流量计是MFM,只有测量功能,不带控制阀门的流量计。

层流质量流量计的选型主要有几个主要参数需要注意。即压力、温度、流量、通讯、介质。

一、压力

压力方面要看两个点,一个是气源的最大压力 ,一个是最小压力。

气源最大压力对照的参数要看流量计的最大工作压力,比如:流量计参数表中工作压力0~1MPa,说明流量计使用过程中要求气源的最大压力不能超过1MPa。这里要注意流量计有一个参数是耐压,耐压即流量计能够承受的最大气源压力,这个耐压的压力是讲的瞬时压力,即短时间过载是不会影响流量计的正常使用。

气源最小压力我们要看的是流量计的压损,众所周知气体在流动过程中会有压力损失。同样,气体通过流量计同样会有压力损失,这就要求气源最小压力要大于流量计的压损,以免影响气体的正常流动状态,使得测量值不准确。层流质量流量计常规压损4KPa,当气源压力比较小,比如只有6~7KPa,我们就需要选用低压损的流量计,因为压损不止只在流量计这里有,管道、阀门这些管路中的零配件都存在压损,因此需要选用更低压损的流量计来保证读数的可靠性。如果气源压力更小只有1~2KPa,我们就要选用极低压损流量计。

二、温度

    这里的温度指的是被测介质的温度,层流质量流量计正常可测介质的温度范围在-20~60℃之间,如果被测介质温度高于60℃,需要选用高温型流量计,如果被测介质小于-20℃,就需要选用低温型流量计。

三、流量

    层流质量流量计选型一个最主要的参数就是被测气体的流量范围,常规层流质量流量计的工作范围是1%~100% F.S.Full Scale满量程)。就拿100 SCCM的流量计来举例,它的正常测量范围是1 ml/min~100 ml/min。所有的流量计都有一个工作范围,绝不是从0~100%F.S.,因此选型时要额外注意。另外,也要结合流量计的准确精度保证范围来选择流量计的流量型号。还拿100 SCCM的流量计来举例,如果厂家标注的准确精度是1%RDReading读数)(20%~100%量程范围);0.2%F.S.1%~20%量程范围),说明这款流量计在20ml/min~100 ml/min的流量范围内,准确精度是1%RD;在1 ml/min~20 ml/min的流量范围内,准确精度是0.2%F.S.,即误差±0.2ml/min.

四、通讯方式

    通讯方式选择主要涉及在配套设备中的控制方式匹配,常用的有模拟信号4-20mA,或者数字信号RS485,可根据控制模块来选择。模拟信号会涉及到信号损失,且容易受到强电流、电磁干扰,通讯准确度不如数字信号;数字信号会比数字信号在通讯速度上略有延迟。当然,数字信号优势明显大于模拟信号,因为它准确度高,误差小。

五、介质

    流量计选择时也要注意所测量介质是否具有腐蚀性,若为强腐蚀气体,需要选用耐腐蚀流量计,常规气体即可选用常规款流量计。耐腐蚀和常规流量计主要涉及材料和封装方式上有差异。

六、精度

流量计测量都有误差,我们叫准确精度,常见精度有1%RD,也有1%F.S.,这两种准确精度其实差别是很大的。1%RD我们叫读数误差,误差大小是流量计读数值×0.011%F.S.我们叫满量程误差,误差大小是流量计满量程×0.01。还拿100 SCCM的流量计来举例,在测量50ml/min的流量时,如果是准确精度1%RD的流量计,测量误差是±0.5ml/min;如果是准确精度1%F.S.的流量计,测量误差是±1ml/min,而且是全量程内误差均是±1ml/min。因此,了解精度的概念对流量计选型也很重要。

除了以上提到的几个参数外,还有一点需要注意,流量计上标注的准确精度都有一个保证的范围,包括但不限于对流量范围、温度范围、压力范围的要求,其实也是对工况的要求。

最后要说的是在负压下如果要测量气体流量,需要选用专门的负压流量计,这里说的负压即绝压0~101KPa,负压流量计和正压流量计的设计是不一样的,因此千万不要用常规款流量计去检测负压状态的气体流量。即便能测量,但是其显示的读数也是不准确的。

[修改于 1 个月前 - 2021-06-29 10:59:28]

来自:仪器与装备 / 仪器仪表

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