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求教一些射频阻抗匹配的问题
超密度氢2020/01/01晶体养成所 IP:内蒙古
关键词
射频阻抗匹配

实验需要做一个射频等离子体装置，已有射频电源和放电腔体，负载是容性的由2个电极构成。反应时放电腔体内充入低压气体，现在由于没有阻抗匹配网络，听说需要知道负载电极之间的阻抗值，请问大佬，设计阻抗匹配网络时需要测量负载的阻抗值吗？如果需要请问需要哪些仪器？ 

来自：晶体培育 / 晶体养成所
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~~空空如也
超密度氢 作者
4年11个月前 IP:内蒙古
868330
2楼
引用虎哥发表于1楼的内容
当然需要同时知道负载的阻抗和源的阻抗，才能知道怎样把两者的阻抗转换成一样（共轭），以实现阻抗匹配。但...

谢谢高人指点，是有自动阻抗匹配器但是体积和重量很大。而我的射频电源功率很小只有100瓦左右，等离子体反应器体积也很小没必要用那种自动阻抗匹配器，我听说对于小功率射频可以自己搭建一个T或π型的固定匹配电路？

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超密度氢作者
4年11个月前 IP:内蒙古
868339
4楼
引用虎哥发表于3楼的内容
依然没有提供充足的已知条件，还是要人猜，请改进提问的习惯。如果你要自制天调，参考https://ww...

好的，谢谢


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