谢谢高人指点，是有自动阻抗匹配器但是体积和重量很大。而我的射频电源功率很小只有100瓦左右，等离子体反应器体积也很小没必要用那种自动阻抗匹配器，我听说对于小功率射频可以自己搭建一个T或π型的固定匹配电路？
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