项目背景情况简介：

对于现代社会最具有影响力的事物必然有属于半导体器件的一份功劳，掌握基本半导体制造工艺有助于教育事业，同时对于电子器件制造有着重大的影响力，譬如集成电路与发光二极管和光伏电池。我因此发问，个人创客是否能够自己制造半导体器件？答案是肯定的，在国外视频网站已先后有多位创客成功制作了厘米级、毫米级、微米级的MOS器件和光伏器件。国内某视频网站也有高中生成功制作了厘米级MOS器件，但具体性能没有提供参考。但不幸的是，以上所说的案例事迹，皆花费巨大。因此发出第二个疑问，个人创客是否能够降低成本制作微米级的半导体器件？为了寻找这个答案，我需要科创研究院的资金支持。但过程仍旧漫长，因此我计划一步步展开，我的第一步就是解决关于热氧化的问题。所故，在此申请高温热处理炉的项目。

研究目标及预期效果：

制造一个安全、可靠、温度能长时间保持1200摄氏度的密闭加热容器。

前期研究与准备工作：

第一、安全用电守则

安全接地、安全走线、安全线径、漏电保护、短路保护、高温保护、触电急救、烫伤紧急处理

第二、高温炉隔热砖性能

莫来石耐火砖不宜在高水蒸气环境下使用。因此此炉作为热氧化生长，只能是干氧。在加装高温玻璃管后可以作为湿氧生长设备。

莫来石为一般常用的工业耐火砖，性能稳定，因此适宜用来做高温炉。若采用U型管或前后贯穿管亦可，则其前后门需打孔。

第三、加热器件选择思路

由容器内体积常压常温常湿度空气求得升温所需热量，依据热量在市电压和2500W额定功率条件下求得所需电流与电阻，在依据电阻及高温稳定性塑性价格等选择求得所需热电加温材料。

第四、原材料与器件预算

铁铬铝高温丝 1200度 38元/根    1根    计38元

莫来石耐火砖 1400度 230*114*65mm    8.5元/块    18块(上下各四、左右各二、前后各二、备用二块)    计153元

高温粘结剂    1400度    1000ml/瓶    39元/瓶    1瓶    计39元

高温热电偶    1300度    直径6*200mm 线长1000mm    208元/根    1根    计208元

温度控制器0~1200度+固态继电器25DA+散热片 46元/份    1份    计46元

铝型材框架及其附属门类五金零件    40*40mm    300元

大电流三插电源线    16A 2.5米    10元/根    1根    计10元

方扁锉刀    15元/根    1根     计15元

坩埚5040    17元/个    1个    计17元

坩埚钳         35cm    15元/个    1个    计15元

电钻    50元/个    1个    计50元

总计    891元

可行性分析与设计方案：

由粘结剂和耐火砖构成主体，铝型材框架结构保护与门活安装以及便于移动。

坩埚钳与之坩埚为使用道具。

电钻与锉刀手工修整耐火砖电热丝槽与其他

温控器与继电器与热偶实现监控。

研究计划与研究过程安排：

第一阶段、性能设计

第二阶段、器材购买

第三阶段、器材测良

第四阶段、组装

第五阶段、试机

研究成果的展示方式：

本人将采用视频及说明类论文进行展示本项目之成果。