定睛一看,我去,这玩意居然是某一位坛友的隔壁的课题组的,世界真小啊.
这个微加工工艺也很简单, 对于后续提到的较宽的gap (>1 um),其实用激光直写就可以做了,不需要ebeam. resist reflow一下, IBE再刻, 如果想做一个玩玩, 保守估计在我们这边加工应该一个晶圆成本应该不超过5000rmb.
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