咱先讲讲为啥真空泵没有活塞式的: 因为这活塞泵受到机械精度的限制活塞运动到上死点时气缸里还留有一定的空间(不这样设计的话,活塞可能会冲顶撞坏)这个空间称为死容积。当真空泵开始工作,达到一定的真空度以后死容积的存在使得真空不能再提高了。当活塞到上死点时候,气缸中死容积的压强不足以打开排气阀或者和大气压相等时这部分气体是无法排除的。当活塞运行到下死点时,死容积的气体在气缸死容积和活塞全行程的空间内形成的压强等于真空容器内的压强时,不会再有气体被吸入泵内也就是达到了泵的真空极限,此时往复真空泵变成了死容积里的气体不断膨胀压缩的过程。
为了克服这种缺点,所有的机械真空泵都极力避免死容积的存在。因为这个原因大部分机械真空泵是旋片泵而没有活塞泵。