现代的中电流离子注入设备很多都是一些Terminal voltage在百kV级的静电加速器。高能注入设备除Axcelis有RF linac外,大多也是MeV的静电加速器。
我知道有两家公司专门制造这种静电加速器:national electrostatics 和 HVEE
1. 公式行内显示(inline):请使用 $....$ 或 \(....\) 包裹代码
2. 公式独占一行显示(display):请使用 $$....$$ 或 \[....\] 包裹代码
3. 插入的公式在编辑时不会渲染,请检查无误后再插入。