原因并不在精度，而是回路中的杂散电感会导致关断瞬间功率管CE两端出现电压尖峰导致失效(这种情况的失效模式是先击穿后过流，如果炸得不是太碎的话可以在失效芯片上看到相关痕迹)，你可以实际测一下回路中“没被续流二极管续流”部分的电感，乘以关断时的di/dt(看部分图中达到60A/us)，加上关断前电容组剩余电压即为开关管要承受的电压峰值。建议你挂探头去测CE两端电压也是这个原因，具体实现可以利用驱动信号的下降沿做示波器的外部触发，能比较精确和方便的测得开关管在关断瞬间的电压应力。

4067的波形如果不是探头连接的问题，基本可以确定关断瞬间形成了一个峰值不小的振荡，这是设计良好的回路可以避免的