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感谢解惑。另外补充一下近期还拆解了一台inficon protec,算是ecotec II的前辈。因为两者结构很类似就不单独开帖子了,仅分享一下区别所在。

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首先protec长得和ecotec很像,但是并没有模块化的rga,只有一个四级杆+主板(至少我这种没啥电子硬件知识得是没法回收利用了)。rga型号是HQ140(没有任何资料。。),主板也没有标明怎么接线,只有最右侧的一个排线插头。大家看到类似机器要注意区分。

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质谱室仅有两个开口----四级杆接口+分子泵高真空端。设计上比ecotec II简单许多

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待分析气体仅能通过分子泵逆流扩散接口进入。

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