使用TPD022来构建IECF装置是完全适用的,且相对其他分子泵具有一定的优势。
1)按照用户手册给出的数据,TPD022可以为你提供2E-7mbar的极限真空(after baking out),即使不经过烘烤,也可以轻松的抽到2E-6mbar。这样的真空度对于IECF background pressure(E-5mbar)的要求是完全足够的。
但是需要注意的是,分子泵泵口处所能达到的压力与前级压力是直接相关的。ecotec中使用的MVP015-2隔膜泵最低只能将前级压力降低至3.5mbar,这将导致ecotec内置的这套排气系统最后只能抽到E-5~E-6mbar。
所以如果想良好的发挥TPD022的效果,你可以关闭Interstage port,将Backing port上的快拧头转接拆下,更换成G1/4—DN16 ISO-KF转接头,使用标准的KF卡箍clamp住并通过一根DN16的波纹管与Pfeiffer DUO系列的旋片泵(或你自选一款双级旋片泵)相连,这样即可抽到用户手册标注的极限真空。
2)TPD022对氢气的抽速很小,仅9L/s。这意味着你只需要用更小的氘气流量即可轻松的将腔室压力稳定在IECF工作的压力范围,而不需要采用一些限流手段来限制泵速来减少氘气消耗。对于长期开启使用的IECF,这样的设计是更加经济的。
但是对于低抽速系统,你需要特别注意腔室不要过大,否则抽气时间会变得漫长。
时段 | 个数 |
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{{f.startingTime}}点 - {{f.endTime}}点 | {{f.fileCount}} |