在一台分子泵的泵体上,共有以下几种气体接口:
1. Backing port (前级接口/分子泵排气口)
接口位于泵体底部,常设计为DN16 ISO-KF、DN25 ISO-KF、DN40 ISO-KF等尺寸。用于与前级泵相连,为分子泵提供前级压力,也可以抽走分子泵排出的气体。
因此,此接口对于任何一款分子泵(除直排大气分子泵外)都需要被使用。
2. Vent port (放气接口)
接口位于级间,常设计为螺纹接口,与vent valve相连,放气阀可采用手动阀门与电磁阀门。用于在分子泵停机时用干燥的反向气流对分子泵进行放气,加快转子减速时间,快速经过共振频率减小对分子泵损坏。
因此,此接口对于任何一款分子泵(除某些电磁刹车与磁浮分子泵外)都需要被使用。
3. Interstage port (级间接口/逆流扩散接口)
接口同样位于级间,用于使进样气体分子通过此接口逆流扩散至分子泵上方的腔室(质谱室),以完成检测与分析,亦可用于对另一真空室的pumping,还可以back另一台分子泵运行。
此接口适用于为检测分析仪器设计的分子泵或有多室系统抽气需求的分子泵,例如Pfeiffer TPD022、Edwards EXT255Hi等,当不再有逆流扩散、多室系统抽气等特殊需求时,可直接将此接口关闭。
4. Purge port (吹扫接口)
接口位于泵体底部,用于向泵内放入气体,吹扫泵体内部及轴承以清洁掉可凝气体等污染物。
此接口设置于少数中型至大型油/脂润滑分子泵,以及几乎全部的磁浮分子泵,不使用时,可利用Purge plug关闭。
标准的TPD022泵体上仅设有DN16ISO-KF的Backing port,而ecotecⅡ内置的TPD022的泵体上则设有G1/4的Backing port与G1/4的Interstage port两个接口,可见ecotec内置的TPD属于质谱专用分子泵。
因此其级间接口在不作逆流扩散分析使用时可以将其直接关闭,而TPD022本身的venting则需要在高真空法兰侧通过venting valve TSF 012进行。
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{{f.startingTime}}点 - {{f.endTime}}点 | {{f.fileCount}} |