机械泵这样选择,是因为前级管道中有一个爱德华的FL20K在漏,我最早使用的爱德华RV12抽了十几分钟真空度迟迟不降,更换了大抽速的泵之后才得以解决。这里使用大抽速泵不是为了堆钱,也不是为了进入多高的真空,而是为了加快进入要求真空的时间
至于真空腔体的烘烤问题这个我自然知道也是会做的,我所说的抽到的极限压力都是在烘烤之后得出的结论
我这里拿kf举个例子,一台分子泵通过kf卡箍直接连接真空规,在冬天连续抽了24天,真空度才勉强达到了9.5*10∧-6pa,温度稍稍升高就又迅速回到了-5。我不知道你几个小时抽到-7是如何做到的,我觉得你的规该校准了
然后做了对比实验,腔体/管路越复杂,进入极限真空的时间就越长,最终达到的真空度就越低,我认为这是一个经验问题,也是实践得出的结论
在分子泵使用cf法兰的时候,对于一个cf,kf混合腔体,分子泵的抽速高于腔体所连接kf法兰的渗透率时,所达到的极限真空才能进入-8。但我的分子泵用的是ISO-k,如果其他接头再使用kf,即使是烘烤之后我觉得进-5都是一个很大的砍,所以我的窗口都选择了使用cf法兰,我觉得这种设计同样没有问题,如果我的分子泵是cf接口(当然早晚会换cf的)我当然不介意在一些小的窗口上使用kf法兰
还是感谢和你的交流,我也学到了很多
时段 | 个数 |
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