kf法兰耐受最高真空10∧-6pa的数据实际上仅适用于“泵-kf卡箍-真空规”这样的理想组合,实际操作的时候会出现各种问题以至于真空度完全达不到-6
我的前级真空管路用了15组kf卡箍连接,在确保全部拧紧的情况下,实际总管路极限真空并未达到单独测前级泵的极限真空
主腔体并未全部使用真空钎焊,不排除在腔体的各焊接处出现细微漏点,高真空和高压交接的针阀用的是bellow密封,同样有可能成为漏点。这样的腔体即使全部安装CF法兰,烘烤后也只能以非常缓慢的速度进入-6。如果把cf换成kf、ISO很有可能连-6都达不到
腔体复杂的时候,有必要给“法兰耐受最高真空”的数据留出余地
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