是的，这个设计是被测系统自带泵，然后抽好了再开机，靠氦气在这里面分子泵的逆向扩散到质谱室检测，所以灵敏度低，大约跟带电子倍增器的残余气体分析仪（RGA）差不多。
中山大学 力学专业
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