这类自动天调其实有一些窍门。比如在等离子没起来的时候，其实腔体是全反射，如果按照那个状态调，肯定就调歪了。13.56还不像2450，没有便宜的方法来旁路反射（这么低频的环形器恐怕价格要上天），反射回去的要靠管子硬扛，如果有驻波保护的话，那马上就降功率了，导致等离子体点不起来。
创新工程局主席
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