纯drag pump非常耐振动,我曾经拍过一个热成像视频,从90000rpm两秒降到几krpm,整个泵剧烈抖动然后迅速发热,如此往复玩了很多次都没有故障。
以前泵便宜的时候收了接近40个pfeiffer小泵,从071到hipace80,研究了个透彻。。。
在铝的螺旋底下就是霍尔
同时这种尺寸整个系列都是90000rpm,不知道为什么alcatel选择工作在26000rpm。。。
同样直径的泵,从最低端的一级扇叶到要求最高的071,有好多种配比可以选,
一般带阻力级的是为了节约前级成本,不需要用涡旋干泵或者普通旋片泵,标配是mvp055-3,性能很好的小隔膜泵
当然了,最低端的入门旋片泵比如duo2.5真空度也要比三级隔膜泵(1kpa)要好3个数量级(1pa),而且便宜不少。在不管油污染但是经济不允许隔膜泵的情况下可以纯分子泵配旋片油泵
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