那估计是极限真空度很差的纯drag pump,优点是只需三级隔膜泵(1kpa)左右前级,不推荐用这种来做质谱仪。。。
pfeiffer原配氦检漏的就是这种,前面只有一级涡轮,下面全是一层层圆筒,只能抽到10^-6mbar
中山大学 力学专业
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