轴承。。。不能乱润滑啊。。。
底下那个轴承一般要有个可更换的海绵储油罐，里面可以自己加一点从pfeiffer能买到的一小瓶分子泵油。
如果油不对比如用了扩散泵油会导致轴承油膜不稳定寿命很短，同时蒸气扩散到处都是，整个仓都被污染了。
这些泵顶上高真空侧一般是磁悬浮的，如果底下轴承空隙稍微变大，顶上磁浮很容易就谐振了，然后就彻底悲剧。。。。
中山大学 力学专业
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