哈哈好东西拆了。系统干净的话离子泵一路抽到1E-12torr都没啥问题。

钛泵是靠化学反应的，一般是钛灯丝通几十A电流把钛蒸镀到真空腔内壁上，然后这层钛和残余的氧气氮气什么的反应。所以钛泵是抽不了氦气的，因为钛无法和氦气反应。钛泵要自己设计正确的真空腔内壁，一般来说面积越大越好。定期开启电源是为了镀一层新的钛。钛泵抽速非常非常高。

离子泵基本和一个冷阴极规差不多（所以你还可以用离子泵的工作电流来估计真空度），基本是把电离的残余气体分子埋进钛，同时溅射出钛，这些钛还和前面钛泵一样靠化学反应吸附其他气体。最后结果就是一般气体都可以抽。结构的话现在基本是diode或者starcell