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~~空空如也

这个等离子体是怎么产生的?

最早的商用等离子体气相沉积设备,是日本人在上世纪80年代推出的热丝等离子体设备,它在生长区域上方放置很多组电炉丝,通电使其产生高温,反应气从上部缓缓吹下,碳沉积在电炉丝下方的籽晶上。由于热丝的不均匀性以及高温挥发,这种方法产品品质不佳。

电容或电感耦合的设备也有,主要用于镀膜,不适合生长较大厚度产品。电弧放电方式生长速度快,但是气流速度快,产品应力大,电极蒸发污染大。

对于宝石级或者光学级应用来说,耗电不是主要成本。以15kW平均功耗(其中微波平均功率6kW,其余功率是微波源效率、冷却、制氢及厂用等)来算,生长50天,耗电18k度,电费12k元。工艺控制得当,每炉都可以出好几片高价值产品,一炉子产品可以卖十多万。贵的一个是设备,靠谱的进口设备目前要250~350万元,考虑利用率,需要三四年才能收回初期投入。另一个是如果工艺不过关,需要频繁停炉重新修复晶种,或者干脆报废,那就很贵了。籽晶也不便宜,大一点的要上万。配套的晶种切割打磨设备和基础设施配下来,稍微像样一点,还需要上百万元。

国产设备最低可以做到50万元以内,山寨得很,但是能生产。中国人来了,寸草不生。

文号 / 858111

盖世豪杰
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刘 虎

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