MPCVD需要多大的微波功率呢？通常的2.45GHz微波系统，应当至少按照6kW设计。微波的功率并不能无限制的缩小或者扩大，这是因为2.45GHz的频率下，很难在很小或者很大的区域内形成均匀的强电磁场环境。在“合适”的区域大小下，为了产生温度合适的等离子体，功率也就被限定在一定的范围内了。如果想扩大或者减小反应区域的尺寸，或者采用更大、更小（例如开发桌面级设备）的功率，最简单的办法是重新选定频率，重新设计腔体。但是，工业上常用的微波系统，主要是915MHz和2450MHz频率的，采用其它频率的话，需要有产业链的支撑，否则连磁控管都买不到。

微波的稳定性对工艺条件的影响很大。这是因为微波频率的稍微变化，会导致波长的变化，从而改变微波聚焦的情况，使等离子体发生变化。微波幅度的稍微变化，也会让等离子体变得不稳定。通常，我们要求微波系统的频率稳定度应优于10e-5，幅度波动应不劣于10%。对于固态系统来说，对频率的指标要求是很容易达到的，但是对幅度的指标要求，往往需要一些反馈控制手段，因为晶体管的增益受温度的影响很大。而对于真空管系统而言，幅度的稳定度稍微容易达到一些，频率的稳定度能做到10e-4就不错了，比要求的指标低一个数量级。为了改善真空管系统的性能，通常需要高稳定度的电源，另外进口的磁控管（例如日本东芝的6kW管）更容易达到要求的指标。